Thomas van de Sandt
ASML investeert met het nieuwe Institute for Nanolithography fors in fundamenteel onderzoek. De chipmachinefabrikant legt met dertig miljoen euro in tien jaar tijd bijna een derde van het budget neer.
De overige partners dragen in totaal 37,5 miljoen euro bij: FOM en NWO samen 25 miljoen, UvA en VU samen 12,5 miljoen. Daarnaast heeft de gemeente Amsterdam een startÂsubsidie van 5 miljoen euro toegezegd. Met subsidiegelden van Nederlandse en Europese overheden voor publiek-private samenwerkingsprojecten hopen de initiatiefnemers dit aan te vullen tot 100 miljoen euro in tien jaar.
In de herfst van dit jaar moet het van start gaan en in 2015 moet het volledig draaien als onafhankelijk instituut met honderd wetenschappelijk medewerkers onder leiding van FOM. Dat betekent dat ASML zelf niet de regie heeft over het onderzoek, dat wellicht ook niet direct door het bedrijf zelf te gebruiken is. ‘Dat klopt, maar wij hebben tot nu toe ook geprofiteerd van het fundamentele onderzoek van anderen. Wij voelen nu de verantwoordelijkheid en de noodzaak om ook in pathfinding te investeren’, aldus woordvoerder Lucas van Grinsven van ASML. ‘Wij hopen natuurlijk wel dat we er uiteindelijk ook zelf van kunnen profiteren. Het gaat erom oplossingen te vinden om ook tegen 2020 door te kunnen met extreem-ultraviolet lithografie.’ ASML noemt hierbij onder andere manieren om het vermogen op te schroeven, zodat de machines meer licht kunnen genereren.
Opvallend genoeg koos ASML voor het Science Park Amsterdam als vestigingsplek, waarmee het de thuisregio Eindhoven passeerde. ‘Amsterdam had inhoudelijk het beste voorstel en daar konden de meeste onderzoekers aan de slag in het instituut’, zegt Van Grinsven. Een artikel in universiteitsblad Cursor van de TU/e meldde dat er volgens ASML simpelweg te weinig wetenschappers in Eindhoven rondlopen om het nieuwe topinstituut er te vestigen. Niet waar, stelt Van Grinsven. ‘In de afgelopen drie jaar hebben we 270 r&d-projecten uitgevoerd, waarvan 155 met de TU/e. Eindhoven is en blijft het hart van ons ontwikkelingswerk. Met deze stap naar Amsterdam verbreden we enkel onze horizon. Dat is ook goed voor de regio Eindhoven.’
