Mischa Brendel
Op 25 februari bracht minister Henk Kamp van economische zaken een werkbezoek aan de Universiteit Twente, dat vooral in het teken stond van de topsector High Tech Systemen en Materialen (HTSM). De minister kreeg onder meer een rondleiding in het Macrolab van de universiteit en was aanwezig bij de presentatie van de onderzoeksgroep XUV Optics van FOM die zich op de universiteit vestigt aan het MESA+ instituut voor nanotechnologie.
De XUV Optics Focusgroep staat onder leiding van prof.dr. Fred Bijkerk en is gespecialiseerd in het maken van multilaagspiegels om extreem-ultraviolet licht (met een golflengte van 10 tot 124 nm) te manipuleren. Dergelijke spiegels worden gebruikt in telescopen en voor de productie van onder meer computerchips. Het is dan ook niet verwonderlijk dat chipmachinefabrikant ASML één van de partijen is waar de onderzoeksgroep nauw mee samenwerkt.
‘De spiegels bestaan uit 101 zeer dunne laagjes molybdeen afgewisseld met lagen kwarts’, vertelt Bijkerk. De dikte van de molybdeenlagen is 13 nm; hetzelfde als de golflengte van het extreem-ultraviolet licht dat de lenzen moeten weerkaatsen. Omdat elke laag maar een fractie van het licht tegenhoudt, zijn er zoveel lagen nodig. Onder de straling van het extreem-ultraviolet licht zouden de molybdeenlagen op zichzelf verdampen. Daarom zitten er tussen de molybdeenlagen dikkere lagen kwarts, dat bijna niet vervormt onder de invloed van de straling.
Uniek aan de onderzoeksgroep is volgens de Universiteit Twente dat deze niet uitsluitend fundamentele wetenschap bedrijft, maar dit ook koppelt aan hightech toepassingen uit de industrie en hiermee ‘een van de eerste concrete uitwerkingen van het topsectorenbeleid van de overheid’ is, aldus de universiteit.
Op de bijeenkomst werd ook benadrukt hoeveel belang de provincie Overijssel hecht aan het topsectorenbeleid. De provincie heeft 42 miljoen euro beschikbaar gesteld voor fondsen voor businesscases, leningen en garanties voor verschillende topsectoren, waaronder HTSM.
Ook het MKB is volgens Theo Rietkerk, gedeputeerde economie, energie en innovatie van Overijssel erg belangrijk voor de provincie: ‘95 % van de bedrijven in de regio hoort tot het MKB. Met de financiering uit het fonds van 42 miljoen willen we op een termijn van vijf tot tien jaar tweeduizend extra banen creëren, waarbij het accent op Twente ligt.’
De universiteit kan het MKB helpen met het uitvoeren van onderzoek dat voor deze bedrijven niet haalbaar is om zelfstandig uit te voeren. Rietkerk: ‘Het MKB kan hiervoor bij de provincie een voucher aanvragen, waarbij deze het onderzoek voor 50 %, tot een maximum van 10.000 euro financiert, onder de voorwaarde dat de ontwikkeling leidt tot meer werk in Overijssel.’
