Indra Waardenburg
Dr.ir. Jeroen Janssen die vorige maand aan de TU/e promoveerde, heeft een prototype ontwikkeld van een elektromagnetisch vibratie-isolatiesysteem, toepasbaar voor zeer trillingsgevoelige hightech apparatuur.
Bij de ontwikkeling van zijn systeem richtte hij zich op de problemen rondom de vibratie-isolatie van de lens in een waferscanner. Tot op heden is deze lens geveerd met luchtveren, met als nadeel dat deze veren veel energie verbruiken en niet optimaal werken bij hogere frequenties. Het systeem van Janssen maakt gebruik van permanente magneten die een massa van 730 kg kunnen tillen en trillingen tot 700 hertz onderdrukken, waarbij ze 1 watt aan energie verbruiken.
