ASML levert binnenkort het eerste exemplaar van een nieuwe generatie waferscanners. Met een verbeterd optisch systeem produceren ze kleinere structuren dan de huidige machines.
ASML levert binnenkort de eerste machine met een verbeterd optisch systeem: met – in vakkringen – een ‘numerical aperture´ (NA) van 0,55. Huidige machines hebben een NA van 0,33.
Heb je geen abonnement?
Abonneer
