Erwin Boutsma
Om te zeggen dat zich donkere wolken samenpakken boven ASML gaat nog te ver, maar je zou kunnen zeggen dat de lucht aan het betrekken is.
Het bedrijf uit Veldhoven, wereldmarktleider op het gebied van chipmachinefabricage en hét uithangbord van de Nederlandse hightech-industrie, verloor afgelopen weekend 6 % van zijn beurswaarde toen Intel bekendmaakte dat het verwacht pas in 2019 de eerste EUV-wafersteppers van ASML af te nemen. ASML reageerde luchtig (‘het is geen nieuws, zeker geen slecht nieuws’), maar kon niet verhullen dat de twijfels rond EUV-technologie toenemen.
EUV staat voor extreme ultra-violet, wat gaat over de golflengte van de laser in de EUV-waferstepper die schakelingen in een schijf silicium – een wafer – etst. Hoe kleiner de golflengte, hoe kleiner de details. Die kleinere schakelingen zijn voor iedereen in de keten gunstig: de eindgebruiker heeft zuiniger chips, de OEM-gebruiker kan zijn apparatuur rondom de chip mee verkleinen, en de chipverkoper kan meer chips op een wafer etsen, wat de productiecapaciteit vergroot.
Met name dat laatste weegt zwaar. Het aantal chips dat per tijdseenheid uit de waferstepper komt, bepaalt grotendeels de marges in de chipindustrie. En juist daar zit voor EUV-wafersteppers de uitdaging: ondanks vele jaren en miljarden aan investeringen van met name ASML is de snelheid van etsen is nog te laag en het aantal fouten te hoog. ASML en Intel zeggen beide dat de huidige EUV-machines, die sinds vorig jaar naar klanten en onderzoeksinstituten als IMEC zijn verscheept, voor ‘ongeveer 80 % werken’. Het is onduidelijk in hoeverre het haalbaar is om die laatste 20 % op korte termijn te overbruggen, maar analisten zijn – wijs geworden door de vertragingen van de afgelopen jaren – pessimistischer dan ASML zelf.
Hoe anders leek dat enkele jaren geleden. ASML leek met zijn EUV-technologie op rozen te zitten omdat er simpelweg geen alternatief voorhanden was voor verdere miniaturisering. In feite had ASML met EUV de hele industrie in gijzeling. Intel, ’s werelds grootste chipfabrikant, onderkende dat in 2012 en besloot het heft deels in eigen hand te nemen door € 800 miljoen r&d-geld in ASML te pompen en voor € 2,5 miljard een aandeel van 15 % te nemen.
Deze manoeuvre toont aan hoe afhankelijk de hele chipindustrie is van ASML, maar ook hoe kwetsbaar de Veldhovenaren zijn. ASML is namelijk echt een ‘one-trick pony’: het maakt wafersteppers. Deze machines slijten niet snel genoeg om regelmatig vervangen te moeten worden, dus ASML is afhankelijk van de meerwaarde van voortschrijdende technologie om zijn machines – à € 50 tot 100 miljoen – af te zetten.
Helaas voor ASML lukt het inmiddels met allerlei trucs om met bestaande technologie details te etsen van 10 nm, iets wat tot voor kort voor onmogelijk werd gehouden. De noodzaak van EUV is daardoor op dit moment minder groot geworden dan ASML had gehoopt, al is de verwachting dat de rek er met die trucs binnenkort wel uit is.
Maar linksom of rechtsom: als EUV niet snel en groots doorbreekt, heeft ASML een reusachtig probleem.
Erwin Boutsma is hoofdredacteur van onder meer TW.
